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| 衬底偏压对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响 | |
| 作者姓名： | 徐强 杨光敏 秦宏宇 白继鹏 |
| 作者单位： | 1. 长春工程学院 勘查与测绘工程学院, 长春 130022； 2. 长春师范大学 物理学院, 长春 130032；3. 吉林大学 材料科学与工程学院, 长春 130012 |
| 摘 要： | 采用磁控溅射技术, 通过改变衬底偏压在室温下制备系列VC薄膜, 并考察衬底偏压对VC薄膜晶体结构、 硬度及摩擦磨损性能的影响, 建立相互间的内在联系. 结果表明, 随着衬底偏压的增高, 薄膜的晶粒逐渐细化, 薄膜硬度逐渐增大, 耐磨损性能得到提高, 摩擦系数变化较小. |
| 关 键 词： | 衬底偏压 薄膜 力学性能 |
| 收稿时间： | 2015-10-29 |
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