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金刚石薄膜的制备及其性能研究概述
作者姓名:
陈家庆 蔡镜仑
摘 要:
金刚石薄膜是工业界继高温超导材料之后又一研究热点,近年来的研究工作已经取得了重大进展,文章对国内外学者在金刚石薄膜的制备,特性,生长机理以及摩擦特性等方面的研究进行了综合论述,以推动国内外金刚石薄膜基础研究和应用的发展,并提出要重视金刚石薄膜在摩擦学领域中的应用研究,使之为人类社会带来巨大的经济效益。
关 键 词:
金刚石 薄膜 制造 摩擦 特征
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