自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器的研究

利用硅基MEMS工艺，通过背面分步刻蚀工艺湿法刻蚀<100>晶向硅片，结合SiO2薄膜热氧化工艺、磁控溅射薄膜制备工艺、光刻工艺、lift-off工艺，制备了一种自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器。L型悬臂梁结构比直线型结构应力分布均匀。标定了微加热器的R-T曲线、I-V曲线。微加热器在工作电压为2.3V时，加热电阻值为60.96Ω，功耗为86.72mV，可获得673K的工作温度。