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| 金刚石膜的六十项性状指标和百项相关成膜因素 | |
| 引用本文： | 罗廷礼. 金刚石膜的六十项性状指标和百项相关成膜因素[J]. 河北省科学院学报, 2016, 0(3): 9-17 |
| 作者姓名： | 罗廷礼 |
| 作者单位： | 河北省激光研究所,河北石家庄,050081 |
| 基金项目： | 国家863计划(715-02,省科技支撑项目(942138510),省自然科学基金(597389) |
| 摘 要： | 为了表征金刚石膜性能的稳定性,本文给出了六十项性状指标和百项相关成膜因素、因果值A、制膜效果作为比较平台。发现沉积腔中气流有喘息、电弧转速有进动。磨耗比E值随测量过程而变。影响膜质的温度有22种。该平台为比较金刚石膜的稳定性找到了依据,不仅方便了技术交流、推动了膜品相的提高和制备技术的进步、还为标准的建立提供了方便和技术储备。 |
| 关 键 词： | 化学气相沉积 金刚石膜 性状指标 成膜因素 |
60 character indices and 100 related film formation factors of diamond films |
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