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离子轰击渗氮层的HRTEM研究
引用本文:李凤照.离子轰击渗氮层的HRTEM研究[J].科学通报,1995,40(17):1628-1628.
作者姓名:李凤照
作者单位:山东工业大学材料工程系,山东工业大学材料工程系,山东工业大学材料工程系,中国科学院金属研究所固体原子象开放研究实验室,中国科学院金属研究所固体原子象开放研究实验室 济南250014 中国科学院金属研究所固体原子象开放研究实验室,沈阳110015,济南250014 中国科学院金属研究所固体原子象开放研究实验室,沈阳110015,济南250014 中国科学院金属研究所固体原子象开放研究实验室,沈阳110015,沈阳110015,沈阳110015
基金项目:山东省自然科学基金资助项目
摘    要:由于离子轰击技术的广泛应用,对其渗层的精细结构的研究也日益深入,但是,对于离子轰击渗层中晶体缺陷的形成机制和界面结构尚不清楚.作者发现离子轰击渗氮层中有大量的空位和各种缺陷,本文首次采用高分辨电子显微镜(HRTEM)获得了离子轰击渗氮层各相的高分辨结构图象和界面结构原子象,在原子尺度上揭示了渗层中各相的结构和界面结构.1 实验

关 键 词:渗氮层  HRTEM  离子轰击  金属复层保护
收稿时间:1994-09-05
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