| 反应气体流量比对PECVD类金刚石薄膜机械性能的影响 |
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| 引用本文： | 李瑞武,吴法宇,李建伟,范巍,郭媛媛,牛文杰,周艳文.反应气体流量比对PECVD类金刚石薄膜机械性能的影响[J].辽宁科技大学学报,2018,41(2):118-123. |
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| 作者姓名： | 李瑞武 吴法宇 李建伟 范巍 郭媛媛 牛文杰 周艳文 |
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| 作者单位： | 辽宁科技大学 材料与冶金学院,辽宁 鞍山,114051;辽宁荣信兴业电力技术有限公司,辽宁 鞍山,114051;鞍钢集团矿业设计研究有限公司 工艺设计研究所,辽宁 鞍山,114002 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51502126;51672119)，辽宁科技大学省重点实验室开放项目(USTLKFS201705) |
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| 摘 要： | 实验研究了不同乙炔与氩气流量比R对脉冲等离子体增强化学气相沉积(PECVD)类金刚石薄膜的沉积速率、AFM形貌、膜基结合强度、纳米压痕硬度以及弹性模量的影响。结果表明:薄膜沉积速率随C_2H_2流量的增大而增大,在R为4:1时沉积速率达到最大0.8μm/h;不同气体流量比下薄膜的表面形貌均光滑致密,纳米硬度是316L不锈钢基体的3倍以上;R为3:1时,Raman光谱ID/IG值为最小,对应此流量比下的最高纳米硬度16.1GPa,且粗糙度最低,摩擦系数为0.206。
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| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 PECVD技术 气体流量比 机械性能 |
Effect of reaction gas flow ratios on mechanical properties of PECVD diamond-like carbon films |
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| LI Ruiwu,WU Fayu,LI Jianwei,FAN Wei,GUO Yuanyuan,NIU Wenjie,ZHOU Yanwen.Effect of reaction gas flow ratios on mechanical properties of PECVD diamond-like carbon films[J].Journal of University of Science and Technology Liaoning,2018,41(2):118-123. |
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| Authors: | LI Ruiwu WU Fayu LI Jianwei FAN Wei GUO Yuanyuan NIU Wenjie ZHOU Yanwen |
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