从半导体教研组到微电子学研究所——清华大学半导体专业、微电子学研究所的发展和创新

清华大学半导体专业创建于1957年，是当时学习苏联工科大学教育模式的产物之一。经过20多年的发展，半导体专业具备了一定规模。在此基础上，1980年清华大学微电子学研究所成立，该所成为直属学校领导、具有较大规模的教学科研单位，在国内高等院校的教学和科研结合、科技创新、成果转化方面走出一条成功的道路。文章依据档案、访谈等资料对清华大学半导体专业，微电子学研究的发展和创新情况做了研究与分析。