| SnO2薄膜元件的制备及其气敏特性研究 |
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| 引用本文： | 龚炎芳 黄世震 林伟 许增哲 陈知前. SnO2薄膜元件的制备及其气敏特性研究[J]. 福州大学学报(自然科学版), 2000, 28(1): 28-31 |
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| 作者姓名： | 龚炎芳 黄世震 林伟 许增哲 陈知前 |
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| 作者单位： | 龚炎芳（福州大学气体传感器研究所，福建福州350002）;黄世震（福州大学气体传感器研究所，福建福州 350002）;林伟（福州大学气体传感器研究所，福建福州 350002）;许增哲（福州大学气体传感器研究所，福建福州 350002）;陈知前（福州大学气体传感器研究所，福建福州 350002） |
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| 摘 要： | 采用溶胶一凝胶法，以氯化锡（ＳｎＣｌ２。）和无水乙醇为反应起始物，经过加热回流、热处理等工艺．制备出了掺硅和锑的氧化锡（ＳｎＯ２）气敏薄膜，并制成了气敏元件．元件性能测试表明．材料对Ｈ２具有较高的灵敏度和选择性、较好的响应一恢复特性和稳定性．
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 氧化锡 气敏薄膜 |
| 文章编号： | 1000-2243(2000)01-0028-04 |
| 修稿时间： | 1999-09-08 |
Preparation andCharacterization of SnO2-Based Film Gas Sensor |
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| GONG Yan-fang. Preparation andCharacterization of SnO2-Based Film Gas Sensor[J]. Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition), 2000, 28(1): 28-31 |
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| Authors: | GONG Yan-fang |
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| Affiliation: | (Gas Sensor Institute, Fuzhou University, Fujian Fuzhou 350002, China) |
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