挠性摆式微硅加速度计的模态分析

近年来,在很多应用中,对加速度计动态性能提出较高的要求,故在结构设计阶段必须对其进行动态力学分析,以期使摆片模态满足使用要求。有限元分析是分析复杂结构的一种较新的高精度的分析工具。本文利用有限元分析方法对挠性摆式微硅加速度计进行模态分析。文中按照设计加速度计的尺寸给出仿真的振型图、各模态的谐振频率、加速度作用时模态参与因素、振动响应谱以及各模态产生的位移和应力比较等。得出该加速度计共有六种模态,而第一模态（工作模态）比其它模态作用强很多,是主要模态。