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基于运动控制技术的非球面测量系统
引用本文:薛波,郭隐彪,范剑红.基于运动控制技术的非球面测量系统[J].厦门大学学报(自然科学版),2005,44(6):778-782.
作者姓名:薛波  郭隐彪  范剑红
作者单位:厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005
基金项目:国家“8638042416”基金资助
摘    要:为满足非球面光学元件表面精度的测量要求,设计和实现了一种高效数控非球面测量系统.系统基于运动控制技术,构建了四轴联动的测量工作平台.根据数据采集原理,实现对非球面工件表面形位参数进行连续采样.整个系统采用工控微机作为上位机非实时控制,下位机采用高速DSP进行实时控制.在Windows操作系统下,用Visaul C++开发工具完成了测量系统的软件开发.最后通过实验对测量系统的稳定性及其误差进行了分析.实验结果表明,系统行程为100~120mm,系统误差小于5μm,能满足普通光学非球面元件测量精度的要求,同时系统体现了较好的通用性和可靠性.

关 键 词:运动控制  非球面  测量系统  开放式数控
文章编号:0438-0479(2005)06-0778-05
收稿时间:03 3 2005 12:00AM
修稿时间:2005年3月3日

An Aspheric Surface Measurement System Based on the Technology of Motion Control
XUE Bo,GUO Yin-biao,FAN Jian-hong.An Aspheric Surface Measurement System Based on the Technology of Motion Control[J].Journal of Xiamen University(Natural Science),2005,44(6):778-782.
Authors:XUE Bo  GUO Yin-biao  FAN Jian-hong
Institution:Dept. of Mechanical and Electrical Engineering, Xiamen Univ. ,Xiamen 361005 ,China
Abstract:
Keywords:motion control  aspheric surface  measurement system  open CNC
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