| 基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺 |
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| 引用本文： | 王权岱,段玉岗,丁玉成,卢秉恒,张亚军. 基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺[J]. 西安交通大学学报, 2005, 39(9): 946-949 |
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| 作者姓名： | 王权岱 段玉岗 丁玉成 卢秉恒 张亚军 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,710049,西安 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划资助项目(2003AA404040)，国家自然科学基金资助项目(50305026). |
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| 摘 要： | 针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.
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| 关 键 词： | 压印光刻 分层制造 微电子机械系统 对正 |
| 文章编号： | 0253-987X(2005)09-0946-04 |
| 收稿时间： | 2005-01-21 |
| 修稿时间： | 2005-01-21 |
Novel 3-D Device Fabrication Process in Micro-Electronic Mechanical System Based on Nano-Imprint Lithography |
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| Wang Quandai,Duan Yugang,Ding Yucheng,Lu Bingheng,Zhang Yajun. Novel 3-D Device Fabrication Process in Micro-Electronic Mechanical System Based on Nano-Imprint Lithography[J]. Journal of Xi'an Jiaotong University, 2005, 39(9): 946-949 |
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| Authors: | Wang Quandai Duan Yugang Ding Yucheng Lu Bingheng Zhang Yajun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | imprint lithography layered manufacture micro-electronic mechanical system alignment |
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