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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
纳米硅薄膜界面中的环形结构
作者姓名:
韩伟强()
魏赛珍()
韩高荣()
毛祖遂()
张建华()
丁子上()
作者单位:
[1]清华大学现代应用物理系 [2]浙江大学物理系
摘 要:
纳米固体材料由于具有高浓度界面的结构特性以及相伴随着的新颖物性,1984年以后在材料各个领域得以迅速发展。近年来,随着纳米材料在许多领域的兴起,纳米硅薄膜也受到人们越来越多的关注。纳米硅薄膜是由大量的纳米尺寸晶粒及晶粒间界面构成。由于晶粒具有无规则分布的特征,使得界面具有不同的结构和键合特征。界面对纳米硅薄膜的结构和物性具有极其重要的影响。
关 键 词:
电子显微镜 半导体 纳米硅薄膜 界面 环形结构
收稿时间:
1995-08-08
修稿时间:
1995-10-24
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