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离子束辅助沉积MoS2-Ag复合膜氧化行为的研究
引用本文:王培录,刘仲阳,廖小东,郑思孝,孙官清.离子束辅助沉积MoS2-Ag复合膜氧化行为的研究[J].四川大学学报(自然科学版),1999,36(6):1039-1044.
作者姓名:王培录  刘仲阳  廖小东  郑思孝  孙官清
作者单位: 
摘    要:用XPS分别检测了在相对湿度60%-75%的室温环境下存放60d、100%湿度环境下存放45d以及430℃高温加热1h的离子束辅助MoS2-Ag复合膜中的MoS2N BB XFSQ

关 键 词:离子束辅助沉积  复合膜  氧化  硫化钙    XRD  XPS

STUDY OF OXIDATION BEHAVIOUR ON COMPOSITED MoS_2-Ag FILMS DEPOSITED BY ION BEAM ASSIST
WANGPei lu,LIUZhong yang,LIAOXiao dong,ZHENGSi xiao,SUNGuan qin.STUDY OF OXIDATION BEHAVIOUR ON COMPOSITED MoS_2-Ag FILMS DEPOSITED BY ION BEAM ASSIST[J].Journal of Sichuan University (Natural Science Edition),1999,36(6):1039-1044.
Authors:WANGPei lu  LIUZhong yang  LIAOXiao dong  ZHENGSi xiao  SUNGuan qin
Abstract:
Keywords:ionbeamassisteddeposition  MoS2  Agcompositedfilm  oxdation  
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