ATMB晶体生长形貌和机制的实时显微研究

用相差显微镜和诺曼斯基干涉术实时研究了ＡＴＭＢ晶体生长表面形貌和台阶运动的变过程，将计算机图象自动处理系统引入晶体生长台阶的研究中，提高了实时处理的速度和精度，测量了ＡＴＭＢ晶体（１０１２）面生长台阶列的高度和台阶推移速率Ｖ。研究了晶面法向速率与过饱和度的关系以及不同过饱和度下晶体生长机制的转变情况，得出了ＡＴＭＢ晶体是二维成核层状生长机制。