| CVD金刚石薄膜宏观织构的形成过程 |
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| 引用本文： | 朱宏喜.CVD金刚石薄膜宏观织构的形成过程[J].科学技术与工程,2011,11(12):2636-2639. |
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| 作者姓名： | 朱宏喜 |
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| 作者单位： | 1. 河南科技大学材料科学与工程学院,洛阳,471003;河南省有色金属材料科学与加工技术重点实验室同,洛阳,471003
2. 河南科技大学材料科学与工程学院,洛阳,471003 |
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| 基金项目： | 河南科技大学校基金(08ZY003); 博士科研启动基金(09001233)资助 |
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| 摘 要： | 采用X射线衍射技术、扫描电镜和电子背散射衍射(EBSD)技术研究了CVD金刚石薄膜的织构,表面组织形貌和微区取向分布。从取向选择生长的角度研究了薄膜织构形成的过程。研究表明,强烈的取向选择生长能够形成强织构,不同的生长速率参数α会导致不同的织构,同时形成不同的表面组织形貌。
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 织构 电子背散射衍射 取向选择生长 |
| 收稿时间： | 2011/1/25 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2011/1/25 0:00:00 |
Micro-texture Formation in CVD Diamond Films |
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| zhuhongxi.Micro-texture Formation in CVD Diamond Films[J].Science Technology and Engineering,2011,11(12):2636-2639. |
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| Authors: | zhuhongxi |
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| Institution: | ZHU Hong-xi1,2,GU Chao1,REN Feng-zhang1,TIAN Bao-hong1,2 (School of Materials Science and Engineering,Henan University of Science and Technology1,Luoyang 471003,P.R.China,Henan Key Laboratory of Advanced Non-ferrous Metals2,P.R.China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond film texture Electron Backscatter Diffraction orientation selection growth |
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