| 一种双桥臂微悬臂梁谐振频率的影响因素研究 |
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| 引用本文： | 杨一柳,佘东生,魏泽飞. 一种双桥臂微悬臂梁谐振频率的影响因素研究[J]. 渤海大学学报(自然科学版), 2015, 0(2): 183-187 |
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| 作者姓名： | 杨一柳 佘东生 魏泽飞 |
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| 作者单位： | 1. 渤海大学 大学基础教研部,辽宁 锦州,121013
2. 渤海大学 工学院,辽宁 锦州,121013 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(No51305191)． |
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| 摘 要： | 为了获得双桥臂硅微悬臂梁的谐振频率随其质量块尺寸的变化规律,首先推导出了双桥臂硅微悬臂梁谐振频率的解析式,并对9组不同尺寸的双桥臂单晶硅微悬梁的谐振频率随附加质量块长度的变化规律进行了分析.结果表明,随着附加质量块长度的增加,悬臂梁的固有频率会逐渐地减小,并且随着质量块长度所占微悬臂梁总长度比例的增大,附加质量所引起的微悬臂梁谐振频率的变化量在总谐振频率中所占的比重呈逐步减小的趋势.
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| 关 键 词： | 双桥臂 微悬臂梁 附加质量块 谐振频率 |
Study on the influencing factor of resonance frequency for microcantilever with double beams |
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| YANG Yi-liu,SHE Dong-sheng,WEI Ze-fei. Study on the influencing factor of resonance frequency for microcantilever with double beams[J]. Journal of Bohai University:Natural Science Editio, 2015, 0(2): 183-187 |
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| Authors: | YANG Yi-liu SHE Dong-sheng WEI Ze-fei |
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| Affiliation: | YANG Yi-liu;SHE Dong-sheng;WEI Ze-fei;Department of College Foundation Education,Bohai University;College of Engineering,Bohai University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | double beam microcantilever additional mass resonance frequency |
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