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均匀吸收介质层的椭圆偏振光谱方法及其应用

作者姓名：	莫党陈树光林树汉叶贤京江任荣

作者单位：	中山大学物理学系(莫党，陈树光，林树汉，叶贤京)，中山大学物理学系(江任荣)

摘要：	本工作研究了均匀吸收介质层的椭圆偏振光谱,提出一种处理数据的方法,并应用于溅射无定形硅膜层、离子注入硅及其退火效应,得到一些新的实验结果.
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