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| 脉宽调制输出的集成真空度传感器 | |
| 引用本文： | 黄金彪,童勤义.脉宽调制输出的集成真空度传感器[J].东南大学学报(自然科学版),1992,22(3):89-93. |
| 作者姓名： | 黄金彪 童勤义 |
| 作者单位： | 微电子中心，微电子中心，微电子中心，微电子中心 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 传感器 集成电路 数字化输出 |
An Integrated Vacuum Sensor with Pulse-Width-Modulated Output |
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| Huang Jinbiao Tong Qinyi Tang Guohong Chen Deyin.An Integrated Vacuum Sensor with Pulse-Width-Modulated Output[J].Journal of Southeast University(Natural Science Edition),1992,22(3):89-93. | |
| Authors: | Huang Jinbiao Tong Qinyi Tang Guohong Chen Deyin |
| Institution: | Microelectronics Center |
| Abstract: | |
| Keywords: | sensor integrated circuits/integrated vacuum sensor digital output |
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