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a-Si/SiO2超晶格结构的非线性光学性质
作者姓名:刘宁宁  孙甲明  潘少华  陈正豪  王荣平  师文生  王晓光  陈凡
作者单位:中国科学院物理研究所光物理实验室,北京100080
摘    要:用磁控溅射方法在玻璃基底上制备了a-Si/SiO2超晶格。利用TEM和X射线衍射技术对其结构进行了分析,并采用多种光谱测量手段,如Raman光谱、吸收光谱和光致发光谱,对该结构的光学性质进行了研究。结果表明,随纳米Si层厚度的减小,Raman峰发生展宽,吸收边以及光荧光峰发生蓝移。用单光束Z扫描技术研究了a-Si/SiO2超晶格结构的非线性光学性质。这一结果较多孔硅的相应值大两个量级。还对影响非线

关 键 词:光谱研究 a-硅/二氧化硅超晶格 非线性光学性质
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