无衍射光在直线度误差测量系统中的应用 |
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引用本文: | 张青,范光照.无衍射光在直线度误差测量系统中的应用[J].华中理工大学学报,1997,25(9):1-3. |
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作者姓名: | 张青 范光照 |
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作者单位: | 机械科学与工程学院 |
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摘 要: | 无衍射光的中心光斑直径很小,且在传播方向上其尺寸不随传播距离而变化。将其应用于直线度误差测量系统,可以获得较高的测量精度。研究了无衍射光束的特性及其人实现方法,给出了测量系统的结构和参数。理论分析和实验表明这种新型测量系统可满足高精度测量的要求。
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关 键 词: | 无衍射光束 直线度误差 测量系统 光强型准直法 |
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