晶闸管阴极面光刻版图的CAD |
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引用本文: | 徐爱萍,徐静平.晶闸管阴极面光刻版图的CAD[J].华中理工大学学报,1997,25(2):78-80. |
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作者姓名: | 徐爱萍 徐静平 |
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作者单位: | 武汉测绘科技大学 |
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摘 要: | 论述晶闸管阴极面光刻版图的计算机辅助设计问题,以短路点的弧状排列为例,讨论了绘制版图的基本思想和方法,提出了优化图形排列、例版图面积最动态方法和“穿针引线”法,在讨论三管芯图形的基础上,成功地推广到多管芯版图设计与绘制。
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关 键 词: | 晶闸管 CAD 光刻版图 阴极面 |
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