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| 厚膜压力传感器的研究 | |
| 引用本文： | 潘晓光,汤清华.厚膜压力传感器的研究[J].华中理工大学学报,1997,25(5):82-84. |
| 作者姓名： | 潘晓光 汤清华 |
| 作者单位： | 固体电子学系 |
| 摘 要： | 用厚膜工艺制造压力传感器。研究了厚膜是民阻浆料的是电阻率与压阻系数的关系，承压基片选用ＺｒＯ２－Ｙ２Ｏ３３ｍｏｌ％增韬Ａｌ２Ｏ３陶瓷，大大地提高了压力感器的性能，对承压片的应力分布进行了分析，介绍了压力传感器的结构设计方法。 |
| 关 键 词： | 厚膜 压力传感器 压阻效应 |
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