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厚膜压力传感器的研究
作者姓名:
潘晓光 汤清华
作者单位:
固体电子学系
摘 要:
用厚膜工艺制造压力传感器。研究了厚膜是民阻浆料的是电阻率与压阻系数的关系,承压基片选用ZrO2-Y2O33mol%增韬Al2O3陶瓷,大大地提高了压力感器的性能,对承压片的应力分布进行了分析,介绍了压力传感器的结构设计方法。
关 键 词:
厚膜 压力传感器 压阻效应
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