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| nmAl粒子多层复合膜的电磁波散射特性 | |
| 引用本文： | 徐则川,罗永样.nmAl粒子多层复合膜的电磁波散射特性[J].华中理工大学学报,1997,25(4):77-79. |
| 作者姓名： | 徐则川 罗永样 |
| 作者单位： | 固体电子学系 |
| 摘 要： | 用射频溅射工艺制备了ｎｍＡｌ粒子的多层复合膜，通过控制Ａｌ粒子和ＡｌＮ膜的生长时间，成功地控制了Ａｌ粒子的粒径和在复合膜中的纵向分布。用ＴＥＭ，暗场法并结合ＴＶ图像分析测得了Ａｌ粒子的粒径，并导出了粒径和生长时间的经验公式。 |
| 关 键 词： | 复合膜 电磁散射 多层膜 铝粒子 |
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