| 热处理对BaPbO3薄膜化学组成及薄膜电阻的影响 |
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| 引用本文： | 陆裕东,王歆,庄志强,刘勇.热处理对BaPbO3薄膜化学组成及薄膜电阻的影响[J].华南理工大学学报(自然科学版),2007,35(8):89-92. |
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| 作者姓名： | 陆裕东 王歆 庄志强 刘勇 |
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| 作者单位： | 华南理工大学,材料科学与工程学院,广东,广州,510640 |
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| 摘 要： | 以可溶性无机盐为原料,乙二氨四乙酸、柠檬酸、酒石酸为复合螯合剂,水为溶剂,采用溶胶-凝胶法在Al2O3基片上制备了钙钛矿结构的BaPbO3导电薄膜.利用X射线衍射和能量散射X射线能谱表征方法,并结合薄膜方块电阻的测定,探讨了热处理方式和热处理温度对薄膜化学组成及薄膜电阻的影响.研究表明,与常规热处理技术相比,采用快速热处理工艺制备BaPbO3薄膜需要更高的热处理温度,同时,随着热处理温度的升高,薄膜中的Pb/Ba摩尔比下降,导致薄膜方块电阻上升.采用常规热处理方法,在670℃下保温10min可以制备膜厚约2.5μm、薄膜方块电阻为32Ω/□的BaPbO3薄膜.
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| 关 键 词： | 铅酸钡 薄膜 溶胶-凝胶法 热处理 化学组成 方块电阻 |
| 文章编号： | 1000-565X（2007）08-0089-04 |
| 修稿时间： | 2006-05-23 |
Effect of Heat Treatment on Chemical Composition and Sheet Resistance of BaPbO3 Thin Films |
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| Lu Yu-dong,Wang Xin,Zhuang Zhi-qiang,Liu Yong.Effect of Heat Treatment on Chemical Composition and Sheet Resistance of BaPbO3 Thin Films[J].Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition),2007,35(8):89-92. |
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| Authors: | Lu Yu-dong Wang Xin Zhuang Zhi-qiang Liu Yong |
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| Institution: | School of Materials Science and Engineering, South China Univ. of Tech. , Guangzhou 510640, Guangdong, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | barium plumbate thin film sol-gel method heat treatment chemical composition sheet resistance |
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