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| 微电子行业工艺冷却水的热能回收 | |
| 作者姓名： | 周志辉 王丽雅 |
| 作者单位： | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司; |
| 摘 要： | 对某微电子厂房的工艺冷却水、纯水的工艺现状和运行数据进行分析,提出在冬季用工艺冷却水回水余热预热纯水原水,这样即节省了冬季用于预热纯水原水的蒸汽,又减少工艺冷却水系统的冷冻水用量,取得一举两得的节能效益。 |
| 关 键 词： | 工艺冷却水 纯水原水 冷冻水 蒸汽 板式换热器 |
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