| 钽酸锶铋陶瓷靶的烧结及其薄膜微结构分析 |
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| 引用本文： | 周宁生,李明,金灯仁,陆怀先,杨平雄. 钽酸锶铋陶瓷靶的烧结及其薄膜微结构分析[J]. 南京大学学报(自然科学版), 1997, 33(2): 205-209 |
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| 作者姓名： | 周宁生 李明 金灯仁 陆怀先 杨平雄 |
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| 作者单位： | 南京大学固体微结构国家重点实验室，中国科学院上海冶金研究所，上海大学嘉定校区 |
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| 摘 要： | 高致密、结晶好的钽酸锶铋陶瓷靶由ＳｒＣＯ３、Ｂｉ２Ｏ３和Ｔａ２Ｏ５粉末混合、预烧、压模和烧结而成，预烧和烧结温度范围分别为９００～１０００℃和１０００～１４００℃。用脉冲准分子激光沉积技术制备得到非晶钽酸锶铋薄膜，在氧气氛下经退火得到多晶钽酸锶铋薄膜。ＸＲＤ分析得到钽酸锶铋薄膜择优取向以（００８）和（１１５）为主；ＴＥＭ分析得到钽酸锶铋薄膜晶界清晰、结构致密，平均晶粒大小约为２０ｎｍ，薄膜的界面清晰、陡峭，厚度约为２００ｎｍ。
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| 关 键 词： | 钽酸锶铋，激光沉积，微结构 |
SINTER OF THE STRONTIUM BISMUTH TANTALITE TARGET AND ANALYSIS OF THE THIN FILMS MICROSTRUCTURE |
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| Zhou Ningsheng ) Li Ming ) Jin Dengren ) Lu Huaixiam ) Yang Pingxiong ). SINTER OF THE STRONTIUM BISMUTH TANTALITE TARGET AND ANALYSIS OF THE THIN FILMS MICROSTRUCTURE[J]. Journal of Nanjing University: Nat Sci Ed, 1997, 33(2): 205-209 |
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| Authors: | Zhou Ningsheng ) Li Ming ) Jin Dengren ) Lu Huaixiam ) Yang Pingxiong ) |
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| Affiliation: | Zhou Ningsheng 1) Li Ming 2) Jin Dengren 3) Lu Huaixiam 1) Yang Pingxiong 2) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Strontium bismuth tantalite Pulsed laser deposition Microstructure |
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