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有源静电轴承的滑模控制
引用本文:韩丰田,吴秋平,张嵘. 有源静电轴承的滑模控制[J]. 清华大学学报(自然科学版), 2009, 0(2): 218-222
作者姓名:韩丰田  吴秋平  张嵘
作者单位:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
基金项目:国家自然科学基金资助项目(50577036)
摘    要:为了提高有源静电轴承系统对外部扰动与参数变化的抑制能力,分析了被控系统模型的非线性和不确定性,针对存在的不确定性设计了滑模控制器以提高系统的鲁棒性,并通过引入边界层来抑制非线性控制带来的抖动问题。对滑模控制系统的性能进行了测试,并与采用滞后-超前校正下的系统性能进行比较和分析。实验结果表明,在静电轴承系统中采用滑模控制方法,能够显著增强系统在中频和低频段的力扰动抑制能力,提高对系统参数变化的鲁棒性。

关 键 词:有源静电轴承  滑模控制  静电悬浮  边界层  鲁棒性

Sliding-mode control of an active electrostatic bearing system
HAN Fengtian,WU Qiuping,ZHANG Rong. Sliding-mode control of an active electrostatic bearing system[J]. Journal of Tsinghua University(Science and Technology), 2009, 0(2): 218-222
Authors:HAN Fengtian  WU Qiuping  ZHANG Rong
Affiliation:Department of Precision Instrument and Mechanology;Tsinghua University;Beijing 100084;China
Abstract:An integral sliding-mode control scheme was developed to enhance the robustness of active electrostatic bearing systems in high-precision inertial instruments.The nonlinear and uncertain dynamics of the bearing system were modeled to design a robust sliding-mode controller for various plant uncertainties.A boundary layer scheme was used to overcome chatter.Test results indicate that the electrostatic bearing system is more robust than a classical lag-lead controller to external force disturbances and input ...
Keywords:active electrostatic bearing  sliding mode control  electrostatic levitation  boundary layer  robustness  
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