测量薄膜参数的新型精密仪器PW—Ⅱ型光波导测试仪

“PW—Ⅱ型光波导测试仪”是我国首次研制成功的测量厚膜参数的新型精密仪器。文章介绍了该仪器的测量原理和结构特点。对仪器的测量精度进行了理论分析和数学推导,并采取了相应的技术措施,给出了精确的实测计算结果:薄膜折射率测量精度的绝对值≤1×10~(-4);薄膜厚度测量精度的绝对值≤1×10~(-2)μm。该仪器还可以用来精确测量薄膜的损耗,并能用于各向异性薄膜特性参数的测试与研究。