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| 加速度传感器芯片湿法加工技术研究 | |
| 引用本文： | 张岩,尚瑛琦,王晓光,刘智辉.加速度传感器芯片湿法加工技术研究[J].中国新技术新产品精选,2013(12):29-30. |
| 作者姓名： | 张岩 尚瑛琦 王晓光 刘智辉 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 摘 要： | 本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题,讨论了湿法加工技术中引线电极的保护方法,包括TMAH腐蚀技术的应用。制作出的加速度传感器芯片灵敏度大于0.1mV/g,非线性优于1%,横向灵敏度比小于3%。 |
| 关 键 词： | 加速度芯片 湿法腐蚀 KOH 凸角补偿 TMAH |
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