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电子辐照NTD FZ Si等温退火特性
作者姓名:董友梅 戴培英
作者单位:[1]郑州大学图书馆 [2]郑州大学物理工程学院
摘    要:本文报导了关于高阻N型区熔NTD-Si-P^+N结二极管经电子辐照后的等温退火特性,获得5个缺陷能级:E1=0.16eV,E2=0。.27eV,E3=0.31eV,E4=0.37eV6和E5=0.42eV,结果表明E3和R4有比其它3个能极更好的热稳定性。

关 键 词:NTD 硅 电子辐照 等温退火 缺陷态
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