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| 两种液晶盒厚测量光电扫描方案的比较 | |
| 引用本文： | 林强,朱鹤年.两种液晶盒厚测量光电扫描方案的比较[J].大连理工大学学报,1997(Z2). |
| 作者姓名： | 林强 朱鹤年 |
| 作者单位： | 清华大学物理系 |
| 摘 要： | 为提高液晶盒厚测量的准确性，对两种光电扫描测量方法进行了介绍与比较，对层厚度和折射率的不确定度进行了分析；设计了斜细光束动量扫描系统，该系统分辨率高、重复性好，已在实际生产中得到应用 |
| 关 键 词： | 液晶盒 光电扫描 测量 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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