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硅纳米晶及纳米结构在微电子设计中的应用
引用本文:Koshida,刘军涛.硅纳米晶及纳米结构在微电子设计中的应用[J].国外科技新书评介,2009(11):19-19.
作者姓名:Koshida  刘军涛
作者单位:[1]不详 [2]中国科学院电子学研究所
摘    要:在纳米尺度,半导体器件将会呈现出不同于宏观尺度的光学、电学性能,充分利用这些性能可以制备很多具有特殊用途的器件。本书分别介绍了硅纳米晶及其纳米结构在光电器件、电子器件及功能器件等三方面的应用。

关 键 词:纳米结构  硅纳米晶  电子设计  应用  半导体器件  电学性能  纳米尺度  光电器件
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