硅纳米晶及纳米结构在微电子设计中的应用 |
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引用本文: | Koshida,刘军涛.硅纳米晶及纳米结构在微电子设计中的应用[J].国外科技新书评介,2009(11):19-19. |
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作者姓名: | Koshida 刘军涛 |
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作者单位: | [1]不详 [2]中国科学院电子学研究所 |
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摘 要: | 在纳米尺度,半导体器件将会呈现出不同于宏观尺度的光学、电学性能,充分利用这些性能可以制备很多具有特殊用途的器件。本书分别介绍了硅纳米晶及其纳米结构在光电器件、电子器件及功能器件等三方面的应用。
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关 键 词: | 纳米结构 硅纳米晶 电子设计 应用 半导体器件 电学性能 纳米尺度 光电器件 |
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