| 高感度、高分辨率聚酯型光致抗蚀剂—聚呋喃丙烯叉丙二酸-1,3-丙二酯的研制及其应用 |
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| 引用本文： | 梁广和,金章岩. 高感度、高分辨率聚酯型光致抗蚀剂—聚呋喃丙烯叉丙二酸-1,3-丙二酯的研制及其应用[J]. 福建师范大学学报(自然科学版), 1988, 0(1) |
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| 作者姓名： | 梁广和 金章岩 |
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| 作者单位： | 福建师大高分子研究所，福建师大高分子研究所 |
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| 摘 要： | 以改进后的高分子反应法制得了聚呋喃丙烯叉丙二酸-1,3-丙二酯,合成反应时间短,光敏侧基的引进程度高。其光刻应用的最佳曝光时间为8秒(80W汞灯),分辨率0.75μ,是一种高感度、高分辨率聚酯型光致抗蚀剂的新品种。
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| 关 键 词： | 聚酯型光致抗蚀剂 光刻胶 |
The Synthesis and Application of Polyester Photoresist with High Photosensitivity and High Resolution |
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| Liang Guang-he Jin Zhang-yan. The Synthesis and Application of Polyester Photoresist with High Photosensitivity and High Resolution[J]. Journal of Fujian Teachers University(Natural Science), 1988, 0(1) |
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| Authors: | Liang Guang-he Jin Zhang-yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | polyester photoresist synthesis application high photosensitivity He-Ne laser holographic |
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