| 微波电子回旋共振等离子体放电特性研究 |
| |
| 引用本文： | 张洪宾,陈俊芳,符斯列,郭超峰,李炜,黄孟祥.微波电子回旋共振等离子体放电特性研究[J].华南师范大学学报(自然科学版),2009,1(2):48. |
| |
| 作者姓名： | 张洪宾 陈俊芳 符斯列 郭超峰 李炜 黄孟祥 |
| |
| 作者单位： | 1.广州大学城华南师范大学物理与电信工程学院 华南师范大学 广州大学城华南师范大学 |
| |
| 摘 要： | 为了深刻理解微波电子回旋共振(ECR)等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性，首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行了研究，然后利用朗缪尔双探针测量了装置反应室内等离子体密度的空间分布，并分析了放电气压对等离子体空间分布的影响，结果表明: ECR氮等离子体中主要发生的是碰撞激发、碰撞电离，碰撞离解等微观过程，且等离子体的主要成分是激发态的 ；受磁场梯度影响的反应室上游区，等离子体分布不均匀，受等离子体密度梯度影响的下游区，等离子体则具有良好的均匀性；对于特定的微波功率(PW=400W)，放电气压存在一个最佳值(p=0.07Pa).
|
| 关 键 词： | ECR等离子体 发射光谱 空间分布 朗缪尔双探针 |
| 收稿时间： | 2008-10-10 |
STUDY ON THE CHARACTERISTICS OF MICROWAVE ECR PLASMA DISCHARGE |
| |
| ZHANG Hong-bin,CHEN Jun-ang,FU Si-lie,GUO Chao-feng,LI Wei,HUANG Meng-xiang.STUDY ON THE CHARACTERISTICS OF MICROWAVE ECR PLASMA DISCHARGE[J].Journal of South China Normal University(Natural Science Edition),2009,1(2):48. |
| |
| Authors: | ZHANG Hong-bin CHEN Jun-ang FU Si-lie GUO Chao-feng LI Wei HUANG Meng-xiang |
| |
| Institution: | School of Physics and Telecommunication Engineering;South China Normal University;Guangzhou 510631;China |
| |
| Abstract: | In order to understand the physical mechanism,transient processes and spatial distribution of the microwave electron cyclotron resonance(ECR) plasma,a typical emission spectrum obtained from the nitrogen ECR plasma by a grating monochrometer has been studied,and the plasma density distribution in the reaction chamber and the influence of discharge pressures on it were also diagnosed using a double Langmuir probe.The results demonstrate that there mainly exist excitation collisions,ionizing collisions and di... |
| |
| Keywords: | ECR plasma optical emission spectrum spatial distribution double Langmuir probe |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《华南师范大学学报(自然科学版)》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《华南师范大学学报(自然科学版)》下载免费的PDF全文 |
