| 基于数字微镜元件的空间光调制器 |
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| 引用本文： | 杜叔亚.基于数字微镜元件的空间光调制器[J].中国科技术语,2014(Z1). |
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| 作者姓名： | 杜叔亚 |
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| 作者单位： | 国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心,北京,100190 |
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| 摘 要： | 空间光调制器是一类能将信息加载于光学数据场上以便对二维空间各点光强进行调制的器件，其在微光刻领域具有广泛应用。微光刻技术对于照明强度分布、均匀性等的高精确度要求，使得基于数字微镜元件的空间光调制器由于精度高、可控性好而逐渐受到青睐，成为微光刻系统不可缺少的组成元件。
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| 关 键 词： | 空间光调制器 数字微镜 微光刻 |
Introduction of Spatial Light Modulator SLM Based on Digital Micro Mirror |
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| DU Shuya.Introduction of Spatial Light Modulator SLM Based on Digital Micro Mirror[J].Chinese Science and Technology Terms Journal,2014(Z1). |
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| Authors: | DU Shuya |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SLM DMD microlithography |
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