|
|||||
|
|
| 对GD-a-SiC∶H膜等离子刻蚀的研究 | |
| 引用本文： | 王印月 ,张亚非 ,张仿清.对GD-a-SiC∶H膜等离子刻蚀的研究[J].兰州大学学报(自然科学版),1987(4). |
| 作者姓名： | 王印月 张亚非 张仿清 |
| 摘 要： | 本文研究了通入(CF_4+O_2)混合气体对 GD—a—SiC∶H 膜的等离子刻蚀.通过测量混合气体中 O_2的比例对刻蚀速率的影响,得到 O_2气比例为76%时最大刻蚀速率大约是1500(?)/分. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |