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| 影响微波等离子体炬法制备金刚石薄膜的参数 | |
| 引用本文： | 黄芳亮.影响微波等离子体炬法制备金刚石薄膜的参数[J].河南科技,2013(5). |
| 作者姓名： | 黄芳亮 |
| 作者单位： | 四川省非金属复合与功能材料重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地,西南科技大学,四川 绵阳621010 |
| 摘 要： | 本文采用微波等离子体炬法制备了金刚石薄膜。并在一定的微波功率下,研究了Si基片到火炬喷嘴距离(L)对金刚石膜质量的影响,结果表明:距离L为6mm时沉积的金刚石薄膜的结晶性好、金刚石相纯度高。 |
| 关 键 词： | 微波等离子体炬 金刚石薄膜 距离 |
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