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| 三轴高g压阻式微加速度计的设计 | |
| 引用本文： | 林杰,林立伟,郭航.三轴高g压阻式微加速度计的设计[J].厦门大学学报(自然科学版),2014(4). |
| 作者姓名： | 林杰 林立伟 郭航 |
| 作者单位： | 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院;厦门大学物理与机电工程学院; |
| 基金项目： | 航空基金(2008ZH68002);教育部新世纪优秀人才支持计划(2007NCET-07-0723) |
| 摘 要： | 提出了一种三轴高g的压阻式微加速度计的设计方法.通过理论推导和计算,分析了模型的应力和频率,得到了具有较高频率的高g微加速度计的结构参数.通过有限元软件ANSYS分析确定了在获得高输出电压条件下的电阻布置方案.在此基础上,对三轴进行了200 000 g载荷下的性能研究,结果表明所设计的微加速度计具有较高的灵敏度和线性度. |
| 关 键 词： | 三轴 高g 压阻 微加速度计 仿真 |
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