椭圆测厚仪P～△关系的计算

本文从基本原理入手,对椭圆测厚仪中的1/4波片位于±π/4时,读数p值和相差△的关系进行了计算,得出了从p值计算△的普遍表示式,并用测量SiO_2膜厚和折射率的具体实验事例,证明了本文的计算方法,既能适用于1/4波片的相移恰是90°的理想情况,也能适用于1/4波片的相移与90°发生偏离的实际情况。