透射式电子背散射衍射技术(t-EBSD)在材料学中的应用研究进展

t-EBSD技术是自2012年发展起来的新兴测试技术,本文介绍了t-EBSD测试分析技术的原理,总结了tEBSD技术在材料学中的应用及其与其它分析测试技术结合的应用研究,并展望了t-EBSD技术研究应用的发展趋势。目前,t-EBSD技术主要用于超细晶粒、大形变量金属、氧化物薄膜等研究,未来t-EBSD技术将会与多种分析技术相结合,从而扩大高分辨微观晶体结构分析的应用范围。