二元光学及其应用 |
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引用本文: | 周进,高文琦.二元光学及其应用[J].自然杂志,1996,18(6):349-352. |
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作者姓名: | 周进 高文琦 |
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作者单位: | 南京大学物理系 |
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摘 要: | 长期以来,提起光学元件,人们很自然地想到透镜、反射镜、棱镜和光栅等。80年代末,随著计算机辅助设计(CAD)和超大规模集成电路制造技术以及离子束蚀刻技术的迅速发展,出现了一种新的光学元件的制作方法,被称为二元光学技术,它可以制作出—些有特殊功能且高效率的衍射光学元件,本文介绍了这种元件的基本原理、制作方法以及它的一些应用。
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关 键 词: | 光学元件 振动矢量曲线 衍射效率 微电子技术 |
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