氮化硅薄膜的制备技术综述

氮化硅薄膜在微电子材料及器件生产中被广泛用作表面钝化保护膜、绝缘层、杂质扩散掩膜等。在硅基太阳能电池中，氮化硅用作钝化膜和减反射膜。本文综述了几种制备氮化硅薄膜的方法。