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用喷涂法和溶胶—凝胶工艺制备PT/SnO2(Sb)/SiO2薄膜
引用本文:王世敏,王成海.用喷涂法和溶胶—凝胶工艺制备PT/SnO2(Sb)/SiO2薄膜[J].湖北大学学报(自然科学版),1997,19(3):233-235.
作者姓名:王世敏  王成海
作者单位:湖北大学新材料研究所
摘    要:用喷涂法在石英玻璃衬底上制备Rs为100-200Ω/cm^2的SnO2(Sb)透明导电薄膜,并且以SnO2(Sb)/SiO2为衬底和底电极,用Sol-Gel法制备PbTiO3(TP)。薄膜。TP膜为多晶,与SnO2(Sb)膜之间不存在界面反应。

关 键 词:喷涂法  氧化锡  钛酸铅  薄膜  溶胶-凝胶法

PREPARATION OF PT/SnO 2(Sb)/SiO 2 THIN FILMS BY SPRAYING METHOD AND SOL-GEL PROCESS
Wang Shimin,Wang Longhai.PREPARATION OF PT/SnO 2(Sb)/SiO 2 THIN FILMS BY SPRAYING METHOD AND SOL-GEL PROCESS[J].Journal of Hubei University(Natural Science Edition),1997,19(3):233-235.
Authors:Wang Shimin  Wang Longhai
Abstract:
Keywords:Spraying method  Sol-Gel process  Transparent and conducting SnO  2(Sb) thin films  PbTiO  3 thin films
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