精密设备三级防微振实验平台设计方法研究

微振动是影响精密设备正常工作的重要因素，设计出结构合理的防微振实验平台对我国先进技术的发展起着至关重要的作用。笔者基于现有研究，按照逐级消耗振动传递能量的设计原则，利用多元技术来制定“叠合侧开”的三级减振方案，即由下至上分级隔振，Ⅰ级大体积混凝土耗能和高频滤波、Ⅱ级气浮平台耗能增稳、Ⅲ级主动伺服降幅低频滤波，从设计原理和设计方法出发，阐述该项技术的合理性，为我国高精度防微振实验平台的设计提供参考。