TiN作SED阴极材料的可行性研究

阴极基板是表面传导电子发射显示器件(SED)中的关键部分。本文首次把价格便宜、自由能低、稳定性好的TiN用做SED的阴极材料,给出了传导电流If和发射电流Ia随器件电压Vf变化的关系,传导电流If随着器件电压Vf的升高,先迅速升高,再然后下降,最后缓慢上升;发射电流Ia随着器件电压Vf的升高先缓慢增加,然后快速上升。同时给出了样品的发光照片,证实了TiN作SED阴极材料的可行性。