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| 2种ITO靶材及溅射薄膜性能比较研究 | |
| 引用本文： | 左宁伟,杨龙,刘秉宁.2种ITO靶材及溅射薄膜性能比较研究[J].宁夏大学学报(自然科学版),2020,41(4). |
| 作者姓名： | 左宁伟 杨龙 刘秉宁 |
| 作者单位： | 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司稀有金属材料研究院国家重点实验室,宁夏石嘴山 753000;西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司稀有金属材料研究院国家重点实验室,宁夏石嘴山 753000;西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司稀有金属材料研究院国家重点实验室,宁夏石嘴山 753000 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | ITO靶材 薄膜 性能 |
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