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双频激光干涉仪
作者姓名:陕西机械学院双频激光干涉仪课题组
摘    要:前言自1960年气体激光的出现和随后激光器件研制的进展有可能直接采用光波波长作为长度测量的标尺,满足生产和科学研究对长度测量提出愈来愈高的精度要求。激光干涉测长已从实验室应用的技术发展成为工程现场普遍应用的技术。[1][2]我国也先后研制成功利用激光干涉原理的线纹米尺比长仪和动态丝杠检查仪等实验室内专用量仪,达到世界先进水

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