| 一台400keV离子注入机的光路设计 |
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| 引用本文： | 王克明,刘清前,张乃健,陈鄂生,张永恩.一台400keV离子注入机的光路设计[J].山东大学学报(理学版),1989(1). |
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| 作者姓名： | 王克明 刘清前 张乃健 陈鄂生 张永恩 |
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| 摘 要： | 本文给出了一台400keV离子注入机的物理设计总体方案。根据设计指标,详细计算了该机主要部件的参数。经调试,各项指标达到设计要求。
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| 关 键 词： | 离子注入机 光路设计 后加速方法 |
ION OPTICS DESIGN OF A 400 keV ION IMPLANTER |
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| Abstract: | An overview of physical design for 400 keV ion implanter is given According to specifications, parameters of components of ion implanter are calculated. After ajustment, the good agreements between theoretical and experimental values are found. It shows that the ion optics design is reseanable. |
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| Keywords: | ion implanter optics design postacceleration method |
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