|
|||||
|
|
| MEMS三维光刻技术的研究 | |
| 作者姓名： | 李伟 |
| 作者单位： | 安徽大学管理学院 |
| 摘 要： | 微细加工技术是MEMS技术的核心技术，本文详细介绍了常用的MEMS三维加工工艺、应用现状和发展趋势，并提出了目前这些方法中存在的缺陷。 |
| 关 键 词： | MEMS 三维光刻 硅基MEMS技术 IH工艺 电子束 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |