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| 离子束溅射波积非晶硅的光特性研究 | |
| 引用本文： | 王敬义.离子束溅射波积非晶硅的光特性研究[J].华中科技大学学报(自然科学版),1988(Z2). |
| 作者姓名： | 王敬义 |
| 作者单位： | 华中理工大学固体电子学系 |
| 摘 要： | 本文论述了应用离子束溅射淀积非晶硅薄膜及薄膜制成后的退火与氢化处理,讨论了薄膜光特性差异的机理和获得良好光特性的方法。文中提供了有关工艺参数、光电导和暗电导与温度的关系曲线以及光学参数。 |
| 关 键 词： | 离子束溅射 光电导率 暗电导率 光特性 吸收系数 透射系数 |
The Optical Properties of Amorphous Silicon Deposited by Ion Beam Sputtering |
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| Wang Jingyi.The Optical Properties of Amorphous Silicon Deposited by Ion Beam Sputtering[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,1988(Z2). | |
| Authors: | Wang Jingyi |
| Institution: | Wang Jingyi |
| Abstract: | |
| Keywords: | Ion beam sputtering Photo-conductivity Dark-conductivity Optical properties Absorptance Transmittance |
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